四探針測試儀 四探針電阻率測試儀 四探針檢測儀 單測四探針檢測儀（接電腦）

四探針測試儀 四探針電阻率測試儀 四探針檢測儀 單測四探針檢測儀（接電腦）

產品編號：TC-000288

GR-RTS-4型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
    儀器采用了電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
    本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
GR-RTS-4型四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析
技術參數：
 測量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）；  
 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴展）； 
 電導率：0.005～1000 s/cm； 
 電阻：0.001～200Ω.cm； 

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續可調
數字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；
 針間緣電阻：≥1000MΩ； 
 機械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應用參數 （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進行） 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差（用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口 并口
標準使用環境 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強光直射

數字式四探針測試儀型號：SZT-1

SZT-1型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導體材料徑向和軸向電阻率，測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻（方塊電阻），換上特制的四探針測試夾，還可以對金屬導體的低中值電阻進行測量。此外，探針經過特殊加工后，還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導體材料、器件廠、高等院?；瘜W物理系、科研單位，對半導體材料的電阻性能測試。 
本儀器測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針，定位準確，游移率小，使用壽命長。 
SZT-1型數字式四探針測試儀技術參數： 
1． 測量范圍： 
電阻率：10的-4次方~10的3 次方Ω-cm 
方塊電阻：10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□ 
電阻：10的-6次方 ~10的5 次方Ω 
導電類型鑒別：電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm 
2． 可測半導體材料尺寸 
直徑：φ15~100 mm 
長度：≤400mm 
3． 測量方法： 
軸向、斷面均可 
4． 顯示方式：31/2,數顯,性、過載自動顯示，小數點、單位自動顯示。 
5． 恒流源： 
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續可調。 
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA 
（3） 誤差：±0.5%讀數±2個字 
6.四探針測試探頭 
(1) 探針間距:1mm 
(2) 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0% 
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W 

半導體材料檢測儀型號：TH2661

性能特點 
■ 大屏幕液晶顯示  
■ 采用SMT表面貼裝工藝  
■ 可手動或自動選擇合適的電流源量程  
■ 電流源方向有正方向、反方向和正反方向三種選擇  
■ 預設樣片厚度，自動修正，直讀電阻率  
■ 報警門限預設，可用于HI PASS LOW 分選  
■ 200個讀數存儲，可對存儲讀數求zui大值、zui小值和標準偏差值 等數學統計  
■ USB通訊功能，可通過上位機軟件對手持表進行操作  
■ 1%電阻基本精度  
■ 讀數穩定性好  
■ 自動關機功能  
■ 電池及外接電源供電方式  

簡要介紹  
■ TH2661型手持式四探針測試儀，可測量片狀、塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率及擴散層的薄層電阻，適用于半導體和太陽能材料測試的要求，也可對分立電阻進行測量，USB接口可為用戶提供遠程控制及測試數據的統計和分析。  
由于采用了電池和外接電源兩種供電方式，既能適應固定場合對元器件進行檢測，又可隨身攜帶以滿足測試人員的現場測試要求。  

 TH2661型手持式四探針測試儀技術參數  
測 量 功 能  
測試參數 電壓, 電阻率, 方阻, 電阻  
測量不確定度 ≤5%  
恒流源 100nA, 1uA, 10uA, 100uA, 1mA, 3.3mA  
電流方向 正向 反向 正反向  
數學功能 對值偏差, 百分比偏差  
量程方式 自動, 保持  
觸發方式 連續、數據鎖定  
測試速度 約 3 次/秒  
校準功能 短路清零  
測試端配置 四端測量  
顯示方式 直讀，Δ%，ΔABS 
顯示器 五位LCD顯示  
測量顯示范圍  
電壓 2— 220mV  
電阻率 0.01Ω·cm — 100kΩ·cm  
方阻 0.1Ω/□ — 1MΩ/□  
電阻 0.1 Ω — 200kΩ  
Δ% -999.9% — 999.99%  
分選  
分選 HI PASS LOW  
一般技術指標  
工作環境 溫度 0℃ - 40℃  
濕度 ≤75% R.H.  
電源要求 電源適配器 輸出12Vdc 
內部電池 GP17R8H可充電電池，9Vdc 
工作電流 ≤ 32mA  
體積(mm)95(W)×200(H)×40(D)  
 TH2661型手持式四探針測試儀重量 約0.4kg 
隨機附件1 TH2661 上位機軟件光盤  
隨機附件2 TH26611 四探針測試探頭  
隨機附件3 TH26028 交流電源適配器  
隨機附件4 GP17R8H 可充電電池